12英寸全自動射頻探針臺

12英寸全自動射頻探針臺

產品特點：

1，專為多種晶圓測試應用而設計

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV，ESD,1/f

• 射頻、毫米波、射頻頻率可設置可從26GHz到 110GHz或更高。

• 晶圓級可靠性-用于精確的壓力和測量條件
     

• lin先的測試執行軟件套裝的驅動程序

2，WaferWalletTM 操作平臺

• 設計有五個單獨的托盤，可按人體工學方式手動裝載150、200或300毫米的“模型"晶圓

• 在多個溫度條件下全自動測試可多達五個相同的晶圓
     

• 有在任何溫度下裝載/卸載晶片的*能力

  
  

  
  

3，ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量測環境，以得到最佳的 1/f 超低噪測試結果

• 支援 fA ji超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C
     
     

3，工效學設計及彈性選配

• 從正面輕松放置晶片或單個DUT
     

• 內建防震系統

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作

• 安全測試管理系統 (Safety Test Management, STM™)選配具自動進行露點控制功能

• 預留制冷機組空間，節省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設長度，提供最高的量測機能

設備簡介：

TS3500和TS3500-SE 在功能上與MPI著名的已建立的 TS3000 和  TS3000-SE  300毫米探針臺具有相同的功能，通過配置或升級MPI*的WaferWallet™，可以實現全自動功能。MPI的解決方案通過提供比其他供應商的半自動化產品更少的*自動化功能，降低了客戶的總體測試成本。